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早在19世紀，人們就認識到了臭氧的特殊作用，臭氧作為一種強氧化劑、消毒劑、精制劑、催化劑等被廣泛的應用于水處理、醫藥衛生、石油化工、食品、造紙及香料提純等多個部門。
一百多年來臭氧應用已深入到多個領域，對人類的生產技術發展做出了重大貢獻。臭氧應用按用途分為水質處理、醫療制藥、化學氧化、食品加工保鮮等四個領域，各個領域的應用研究與設備開發都已達到相當高的水平。世界已經形成了獨立的臭氧技術產業和部門，1973年建立的國際臭氧協會（IOA）設在加拿大。該協會每兩年一次舉辦國際會議交流各國發展臭氧技術的論文、報告，發達國家都普遍建立了IOA地區性組織，進行學術交流。
二戰以后，國際上臭氧應用技術獲到了長足發展。首先，1902年，德國帕德博恩建立了第一座用臭氧處理水質的大規模水廠，開創了臭氧水處理的先河，現在世界上已有數千座臭氧水廠歐美、日本、加拿大等國家的自來水廠應用臭氧已達到普及程度。礦泉水、純凈水廠家幾乎都裝備了臭氧設備。美國七十年代初開始利用臭氧處理生活污水，主要是為了滅菌消毒、去除污染物、脫色等達到排放標準。日本則在缺水地區將污水用臭氧處理后作為中水使用。美、日、德、法等國家近年來都建立了大規模的臭氧污水處理廠。其次，工業應用臭氧也已非常普遍，主要用于化工、石油、造紙、紡織和制藥、香料工業。食品行業的應用更為普及，1904年歐洲就利用臭氧對保存牛奶、肉制品、奶酪、蛋白等食品進行保鮮處理，三十年代末，美國80%的冷藏蛋庫都安裝了臭氧發生器。二戰后，歐美、日在食品果品、蔬菜保鮮中將臭氧運用到儲存、制造、運輸等各個環節。在醫療方面，二戰時日本就利用臭氧進行人體理療，俄羅斯則用于強氣（臭氧化空氣）體育人應用。
目前，國際上在醫療方面已有多種用途：如病房、手術室的空氣消毒，利用臭氧水進行醫用器械消毒，采用臭氧進行牙科疾病治療（口腔手術及保持口腔無菌），采用臭氧與放射理療結合治療癌癥，臭氧水清洗治療婦科疾病，注射臭氧氣體治療瘺痔、靜脈曲張等。在保健方面，日本、臺灣流行吸強氣（含低濃度臭氧的空氣）以強身，用臭氧化水淋浴身體殺體菌和美容。現在流行的高科技美容，事實上就是應用臭氧。
另外，在中華人民共和國衛生部1991年頒布的《消毒技術規范》中，對臭氧的殺菌作用，使用范圍及使用方法都有明確的規定。其中，對臭氧的殺菌作用作了明確的肯定：“4.12.2殺菌作用：臭氧是一種廣譜殺菌劑，可殺滅細菌繁殖體和芽胞，病毒，真菌等，可破壞肉毒桿菌毒素。臭氧在水中的殺菌速度較氯快。”這些是國家衛生消毒的法規性標準，對推廣臭氧消毒技術是非常有力的支持。
1、臭氧的廣譜殺菌效果
人類自發現并使用臭氧以來，科學家一直對臭氧的滅菌性能進行試驗，這方面的試驗報告很多，以下從幾個方面進行綜述。
臭氧對細菌繁殖體
李懷恩等觀察了臭氧氣體對空氣中綠膿桿菌的殺滅作用。在15℃，濕度73%，臭氧濃度0.08-0.6ppm時，30分鐘內殺滅率達到99.9%以上；伍學洲等試驗臭氧對大腸桿菌殺滅率為100%，對金黃色葡萄球菌殺滅率為95.9%，對綠膿桿菌殺滅率為89.8%，顧士圻等試驗，臭氧對大腸桿菌和金黃色葡萄球菌殺滅率分別為99.7%、99.9%。居喜娟等試驗用臭氧可殺滅空氣中的白色葡萄球菌99.99%；Burleson等試驗將臭氧氣體通入染有金黃色葡萄球菌、大腸桿菌、熒光假單胞菌、鼠傷寒沙門氏菌、福氏痢疾桿菌、霍亂弧菌的磷酸鹽緩沖液中，作用15秒后，以上細菌全部殺滅；白希堯等發現臭氧水溶液殺菌作用強大，且速度極快，濃度為0.3mg/L的臭氧水溶液作用1分鐘，大腸桿菌和金黃色葡萄球菌的殺滅率均達100%。
臭氧對細菌芽胞
瞿發林等報告，以5.5mg/m3的臭氧作用下45分鐘，可將100mL塑料瓶內滴染的枯草桿菌黑色變種芽胞100%殺滅；居喜娟等報道，在1m3試驗柜內，開啟500mg/h的臭氧發生器60分鐘可對空氣中的枯草桿菌黑色變種芽胞殺滅率達 99.95%；歐陽川等在動態試驗條件下，將臭氧氣體通入染菌井水中，臭氧濃度達3.8-4.6mg/L時，作用3-10分鐘，水中枯草桿菌黑色變種芽孢殺滅率達99.999%。
臭氧對病毒
李紹忱等試驗發現，經10.3mg/m3濃度臭氧作用30分鐘后，乙型肝炎表面抗原（HbsAg）的滴度從1:256降至1:64。史江等報告，臭氧濃度13.6mg/m3時使用30分鐘，使HbsAg破壞99.99%，使用甲型肝炎病毒抗原（HAAg）破壞100%；Wolo等實驗證明0.5ppm的臭氧可滅活空氣中的甲型流感病毒99%；Herbold等報告，在20℃水中，臭氧濃度為0.13mg/L時，可以100%的滅活脊髓灰質炎病毒I型（PVI）。臭氧滅活病毒速度極快，當臭氧濃度分別為0.09mg/L-0.8mg/L時，在反應最初5秒鐘內，噬菌體T2即可被滅活5-7個對數值。Finch發現水中含臭氧濃度40μg/L時，作用20秒鐘，可使大腸桿菌噬菌體ms2滅活4個對數值。Vaughn等在4℃條件下，對比了臭氧對猿輪狀病毒SA-H和人輪狀病毒2型的滅活效果,發現兩種病毒均能被0.25mg/L的臭氧迅速滅活。Crpend等檢測了經臭氧處理后的血清中艾滋病毒(HIV)的滅活情況，證明當臭氧濃度為4mg/L時，可將滴度為106CID50/mLHIV全部滅活，病毒滴度下降6個對數值。
臭氧對真菌
汪華明等報道,臭氧濃度為9.6mg/L時，作用100分鐘對雜色曲霉與桃色擬毒霉的殺滅率達100%，對蠟葉枝孢霉23mg/L30分鐘、青黑霉在12.5mg/L作用35分鐘、桔青霉在15.4mg/L作用30分鐘，尖鐮孢霉在15.5mg/L時作用20分鐘，均可達100%滅活率。對于煙曲霉、細交鏈孢霉、爪哇毛霉等，在臭氧濃度為3.85-10.7mg/L時作用10-20分鐘滅活率達96.4%。伍學洲等發現，臭氧在30分鐘內對青霉菌的殺滅率為93.8%，對毛霉菌的殺滅率為100%；白希堯等報告，濃度為15mg/L的臭氧水溶液作用1分鐘，可100%地殺滅試驗中的黑曲霉和酵母。
臭氧對原蟲
Finch等比較了22℃時臭氧對蘭氏賈弟鞭毛蟲和鼠型賈弟鞭毛蟲色曩的滅活效果，當Ct值0.86mg.min/L時，可使鼠型賈弟鞭毛蟲減少4個對數值，Ct值為2.5mg.min/L時，使蘭氏賈弟鞭毛蟲減少4個對數值。Korich等比較了臭氧、二氧化氯、氯對凈化水中的微小隱孢子蟲卵囊的滅活作用試驗證明，1ppm的臭氧作用5分鐘可以滅活90%的卵囊，1.3ppm的二氧化氯則需作用1小時，80ppm的氯則需作用1.5小時才能達到同樣效果。
臭氧的廣譜殺菌原理
以上報告說明，臭氧幾乎對所有病菌、病毒、霉菌、真菌及原蟲、卵囊都具有明顯的滅活效果，且滅菌時間來說，迅速無比，是氯的300-600倍，紫外線的3000倍。臭氧的滅菌機理，Roy等研究報告，臭氧可破壞病毒衣殼蛋白的四條多肽鏈并使RNA受到損傷；Kim等報告，臭氧作用過程中，可使噬菌體中RNA被釋放，電鏡觀察可見噬菌體被斷裂成小的碎片。還有人認為，臭氧可與細菌細胞壁脂類雙鍵反應，穿入菌體內部，作用于脂蛋白和脂多糖，改變細胞的通透性，從而導致細菌溶解和死亡。
2、臭氧的毒性、腐蝕性及安全性解釋
臭氧是無毒物質安全氣體，談到它的毒性主要是其強氧化能力，在濃度高于1.5ppm以上時，人員須離開現場，原因是臭氧刺激人的呼吸系統，造成呼吸系統的應激性反應，嚴重的會造成可逆性傷害，為此，臭氧工業協會制定衛生標準：
國際臭氧協會：0.1ppm，接觸10小時
美 國：0.1ppm，接觸8小時
德、法、日等國：0.1ppm，接觸10小時
中 國：0.15ppm，接觸8小時
以上是人在臭氧化氣體環境下的安全衛生標準，其濃度與接觸時間的乘積可視為基準點。
文獻報告，臭氧濃度在0.02ppm時，嗅覺靈敏的人便可覺察，稱為感覺臨界值，濃度在0.15ppm時為嗅覺臨界值，一般人都能嗅出，也是衛生標準點。當濃度達到1-10ppm時，稱為刺激范圍，10ppm以上時為中毒限。
事實上安全使用臭氧完全可以保證人的健康不受危害，相反，在呼吸0.1ppm以下濃度臭氧時，對人體會有保健作用。臭氧應用一百多年來，至今世界上無一例因臭氧中毒死亡事故發生。
臭氧具有很強的氧化性，臭氧可以氧化很多金屬，鋁、鋅、鉛與臭氧接觸會產生氧化腐蝕，但含25％Cr的鉻鐵合金（不銹鋼）基本上不會受臭氧腐蝕。
臭氧對非金屬材料也具有腐蝕作用，臭氧對普通橡膠腐蝕作用最大，所以在應用中應使用耐腐蝕的硅橡膠或添加耐腐劑的橡膠制品。
臭氧發生一般采用高壓電源供電，所以在有導電氣體或含烴類介質存在的環境中應杜絕使用，使用人員須按操作規程安全執行。
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